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1.電容式傳感器特點

電容式傳感器是把被測量空壓機的位移、速度等參數變換為電 容變化的一種傳感器。

它實質上是有一個可變參數的電容器。根據電容器參數變化的特性、電容式傳感器可分為極距 變化型、面積變化型和介質變化型三類。在實際應用中，極 距變化型與面積變化型應用較廣。

2.極距變化型電容式傳感器

一個平板電容器,A、B為兩平行的 金屬極板，兩板間充滿了介電系數為e 的電介質，每板的 面積為s,兩板間內表面之間的距離為8,并設板面的線度 遠大于兩板內表面之間的距離。

兩板間的場強為由靈敏度公式可以看出，靈敏度S與極距平方成反比, 即極距越小靈敏度越高。顯然，由于靈敏度隨極距而變化， 這將引起非線性誤差。

為了減小這一誤差，通常規定電容式 傳感器在極小范圍內工作,使之能獲得近似線性關系。

在實際應用中，有時為了提高傳感器的靈敏度和克服某 些外界條件(如電源電壓、環境溫度等) 的變化對測量精度 的影響，常采用差動型式。差動型式由三塊極板組成，外側 兩個極板被固定,中間一塊是可動的。

它的優點是靈敏度比雙板的高1倍,并且穩定性較好。 極距變化型電容式傳感器除靈敏度高處，還具動態響應快并 可進行非接觸測量。為了保證電容傳感器的線性，所測位移 不能太大。故使用范圍受到一定的限制。

3.面積變化型電容式傳感器

改變極板面積的電容式傳感器，一般常用的有角位移型 與線位移型兩種。如角位移型，當動板有一轉 角時，與定板之間相互覆蓋面積就變化,從而導致電容量的 變化。

即輸出與輸入為線性關系，平面線位移型電容傳感器，當動板沿X方 向移動時,覆蓋面積變化，電容量也隨之變化。

電容量為面積變化型電容傳感器的優點是輸出與輸入呈線性關 系，但與極距變化型相比，則有靈敏度較低的缺點，適用于 較大直線位移及角位移的測量。